電子行業(yè)綠色工廠標(biāo)準(zhǔn)解讀之一：多晶硅制造業(yè)綠色工廠評價(jià)要求

編輯：廣東星拓環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備科技有限公司 2020-10-18　

    多晶硅是由一種硅源氣體經(jīng)化學(xué)氣相沉積生成的結(jié)構(gòu)上具有大角度晶粒間界、孿晶間界或兩種結(jié)構(gòu)兼有的硅多晶,多晶硅是一種生產(chǎn)使用量大面廣的半導(dǎo)體電子原材料，在光伏行業(yè)、集成電路制造等領(lǐng)域中發(fā)揮著重要基礎(chǔ)作用?！抖嗑Ч柚圃鞓I(yè)綠色工廠評價(jià)要求》（T/CESA 1082-2020）（以下簡稱“本標(biāo)準(zhǔn)”）規(guī)定了多晶硅制造業(yè)綠色工廠評價(jià)的原則、方法、指標(biāo)體系及要求、程序和報(bào)告等，適用于對運(yùn)用三氯氫硅法和硅烷法生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品的工廠進(jìn)行評價(jià)，運(yùn)用其他工藝方法的工廠可參照使用。 

    本標(biāo)準(zhǔn)圍繞《綠色工廠評價(jià)通則》（GB/T 36132）及《電子信息制造業(yè)綠色工廠評價(jià)導(dǎo)則》（SJ/T 11744）中規(guī)定的基本要求，以及基礎(chǔ)設(shè)施、管理體系、能源資源投入、產(chǎn)品、環(huán)境排放、績效等6個(gè)一級(jí)指標(biāo)展開，充分考慮多晶硅產(chǎn)品制造業(yè)的特征特性，進(jìn)一步細(xì)化了27個(gè)二級(jí)指標(biāo)，涉及103個(gè)具體要求。如，工廠使用的多晶硅還原爐等專用設(shè)備應(yīng)符合產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入要求，降低能源與資源消耗，減少污染物排放；工廠應(yīng)投入與副產(chǎn)物四氯化硅處理量相匹配的冷氫化裝置，使副產(chǎn)物四氯化硅得到有效處理，并投入適宜的其他污染物處理設(shè)備，以確保其污染物排放達(dá)到相關(guān)法律法規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)要求；工廠應(yīng)在多晶硅產(chǎn)品設(shè)計(jì)中引入生態(tài)設(shè)計(jì)的理念，宜按照《綠色設(shè)計(jì)產(chǎn)品評價(jià)技術(shù)規(guī)范 多晶硅》（T/CNIA 0021）開展綠色設(shè)計(jì)產(chǎn)品評價(jià)；工廠生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品品質(zhì)應(yīng)滿足《電子級(jí)多晶硅》（GB/T 12963）或《太陽能級(jí)多晶硅》（GB/T 25074）等規(guī)定的技術(shù)要求等。 

    為保證評價(jià)工作可操作性，本標(biāo)準(zhǔn)對“用地集約化、原料無害化、生產(chǎn)潔凈化、廢物資源化、能源低碳化”5項(xiàng)綠色工廠績效指標(biāo)進(jìn)行細(xì)化和分級(jí)，將多晶硅產(chǎn)品生產(chǎn)制造工廠的綠色績效水平分為3個(gè)級(jí)別，并給出不同績效水平對應(yīng)的指標(biāo)要求和評價(jià)得分。如，明確多晶硅制造業(yè)“廢物資源化”對應(yīng)的“單位產(chǎn)品硅粉用量”指標(biāo)要求分別為≤1.1t/t（1級(jí)）、≤1.2t/t（2級(jí)）、≤1.4t/t（3級(jí)）；“能源低碳化”對應(yīng)的“單位產(chǎn)品綜合能耗”指標(biāo)要求分別為≤11.5tce/t（1級(jí)）、≤12tce/t（2級(jí)）、≤13tce/t（3級(jí)）等。 

    亞洲硅業(yè)（青海）、新特能源、內(nèi)蒙古通威等企業(yè)參與了本標(biāo)準(zhǔn)的研制和驗(yàn)證。